진공 플라즈마 공정기술 특화교육

플라즈마 표면처리 공정 실무 교육 및 ISO17024 기반 국제자격 취득 과정

• 플라즈마 표면처리 공정 실무 교육: 국립한밭대학교 S8동 117호
• ISO17024 기반 국제자격 취득 과정: 국립한밭대학교 S3동 415호

국립한밭대학교 및 대학생 등 총 25명 내외

특성별 플라즈마 적용 기술 교육 및 공정 실습, ISO17024 기반 국제자격 취득을 위한 심화 교육

㈜화인솔루션 태기관 수석연구원, 엘케이와이 허윤성 대표

교육기관 수료증 발급, ISO17024 기반 국제자격(Plasma Surface Treatment Specialist) 취득 기회 제공, Unit 부여

• 홍보 방법: 대학 및 사업단 홈페이지 공고, 대산협 뉴스레터 공고(공문 및 포스터 게시), 대산협 회원교 자체 모집
• 선발: 교육참여 접수 기간 중 관련 학과 신청 학생 선착순

※ 상황에 따라 일정 및 장소 변동 가능

• 7.27.(월) 13:00 ∼ 18:00 (5H)
• 내용 소개 및 진행 방법 공유
• 반도체 공정의 플라즈마 기술 적용
• 진공 환경 필요성

(강사: 태기관)

• 7.28.(화) 09:00 ∼ 18:00 (8H)
• 플라즈마 발진
• 캐소드 플라즈마 이해
• 기판 상태와 박막 부착력 관계 실험 (S1)
• Cu 와 CuO 박막을 이용한 리프트오프 실험 (S2)

(강사: 태기관)

• 7.29.(수) 09:00 ∼ 18:00 (8H)
• 애노드 플라즈마 특성 및 적용 공정
• 플라즈마 식각 및 현상 및 세정 공정
• 지문 /Cu or Glass : 패턴 식각하기 (S3)
• 폴리머 /Cu 패턴 식각하기 (S4)

(강사: 태기관)

• 7.30.(목) 09:00 ∼ 18:00 (8H)
• 애노드 플라즈마 산업 응용
• 표면개질 현상 이해
• 물방울 접촉 특성 (S5)
• 박막 부착력 특성 : Cross cutting test (S6)

(강사: 태기관)

• 7.31.(금) 09:00 ∼ 12:00 (3H)
• 실습 내용 및 결과 정리 / 평가
• 산업용 플라즈마 기술 특성
• 토론 및 질의 응답

(강사: 태기관)

• 8.3.(월) 13:00 ∼ 17:00 (4H)
• 물질 구조
• 플라즈마 정의 및 현상
• 플라즈마 특성 이해

(강사: 허윤성)

• 8.4.(화) 09:00 ∼ 17:00 (7H)
• 플라즈마 구성 요소 및 전하 특성
• 진공 기술의 이해
• 플라즈마 건식 표면 세정

(강사: 허윤성)

• 8.5.(수) 09:00 ∼ 18:00 (8H)
• 플라즈마 식각 공정 및 장치 기술
• 플라즈마 적용 박막 코팅 공정
• 박막 코팅 공정 장치기술

(강사: 허윤성)

• 8.6.(목) 09:00 ∼ 18:00 (8H)
• 표면개질 기술의 산업 적용
• 플라즈마 적용 박막 코팅 공정
• 박막 코팅 공정 장치기술

(강사: 허윤성)

• 8.7.(금) 13:00 ∼ 18:00 (5H)
• 과정 평가
• 토론 및 질의 응답

(강사: 허윤성)